sem使用步骤（粉饼在哪个步骤使用）

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一种训练扫描电子显微镜(SEM)图像选择方法，包括：设置SEM图像的多个图案作为样本，分别对多个训练图案执行训练以生成转换模型，通过使用转换模型将训练图案转换成多个转换后的设计图案，将多个转换后的设计图案与对应的设计图像图案进行比较以确定它们之间的未对准，对于多个训练图案中的每一个，获得作为从多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值的有效距离，提取具有最大有效距离的训练图案作为最佳训练图案，删除位于最佳训练图案中的最大有效距离内的样本，并确定是否所有样本都被对准。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术构思涉及扫描电子显微镜(sem)设备对准方法，更具体地，涉及训练sem图像选择方法。

技术介绍

1、众所周知，sem技术是在sem设备中将半导体衬底上的器件和布线图案扫描成sem图像，并检查sem图像和设计图像之间的差异。然而，根据传统的检查方法，在图像之间测量相似性，或者在图像之间比较和对准已经发现的相同特征，使得存在需要形状或矢量分量在图像之间是相似的限制。因此，当检查异构图像时，在异构图像之间比较和对准可能是困难的，并且由此，对异构图像的检查经常失败。当检查失败时，操作者别无选择，只能进行直接比较和对准，并且由此，进行直接比较和对准可能花费大量时间和成本。

技术实现思路

1、本专利技术构思提供了一种训练扫描电子显微镜(sem)图像选择方法和一种sem设备对准方法，其中基于所选择的训练sem图像准确地对准sem设备。

2、此外，本专利技术构思要解决的问题不限于上述问题，并且本领域普通技术人员从以下描述中可以清楚地理解一些其他问题。

3、根据本专利技术构思的一方面，提供了一种训练sem图像选择方法，包括：设置sem图像的多个图案作为样本，对多个训练图案中的每一个执行训练以生成设计图像图案和多个训练图案之间的转换模型，使用转换模型将多个训练图案转换成多个转换后的设计图案，将多个转换后的设计图案与设计图像图案进行比较以确定它们之间的未对准，对于多个训练图案中的每一个，获得有效距离，有效距离是从多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值，提取多个训练图案中具有最大有效距离的一个作为最佳训练图案sem使用步骤，删除位于最佳训练图案中的最大有效距离内的样本，并确定是否所有样本都是对准的。

4、根据本专利技术构思的另一方面，提供了一种训练sem图像选择方法，包括：使用sem设备获得测量目标的多个sem图像，对多个sem图像和相应的设计图像执行预处理，从多个sem图像中选择训练sem图像，基于训练sem图像和相应的训练设计图像执行训练，以生成多个sem图像和相应的设计图像之间的第一转换模型，并且使用第一转换模型将多个sem图像转换成转换后的设计图像，其中选择训练sem图像包括：将多个sem图像的多个图案设置为样本，对多个训练图案中的每一个执行训练以生成设计图像图案和多个训练图案之间的第二转换模型，使用第二转换模型将多个训练图案转换成多个转换后的设计图案，将多个转换后的设计图案与设计图像图案进行比较以确定它们之间的未对准，对于多个训练图案中的每一个，获得有效距离，有效距离是从多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值，提取多个训练图案中具有最大有效距离的一个作为最佳训练图案，删除位于最佳训练图案中的最大有效距离内的样本，并确定是否所有样本都是对准的。

5、根据本专利技术构思的另一方面，提供了一种训练sem设备对准方法，包括：使用sem设备获得测量目标的多个sem图像，对多个sem图像和相应的设计图像执行预处理，从多个sem图像中选择训练sem图像，基于训练sem图像和相应的训练设计图像执行训练，以生成多个sem图像和相应的设计图像之间的第一转换模型，使用第一转换模型将多个sem图像转换成第一转换后的设计图像，将第一转换后的设计图像与相应的设计图像进行比较和对准以提取对准坐标值，并基于对准坐标值确定sem设备的测量误差，其中选择训练sem图像包括：将多个sem图像的多个图案设置为样本，对多个训练图案中的每一个执行训练以生成设计图像图案和多个训练图案之间的第二转换模型，使用第二转换模型将多个训练图案转换成多个转换后的设计图案，将多个转换后的设计图案与设计图像图案进行比较以确定它们之间的未对准，对于多个训练图案中的每一个，获得有效距离，有效距离是从多个训练图案中的每一个到未对准的图案的距离的最小值的，提取多个训练图案中具有最大有效距离的一个作为最佳训练图案，删除位于最佳训练图案中的最大有效距离内的样本sem使用步骤，并确定是否所有样本都是对准的。

【技术保护点】

1.一种训练扫描电子显微镜SEM图像选择方法，包括：

2.根据权利要求1所述的训练SEM图像选择方法，其中

3.根据权利要求1所述的训练SEM图像选择方法，其中

4.根据权利要求3所述的训练SEM图像选择方法，其中

5.根据权利要求1所述的训练SEM图像选择方法，其中

6.根据权利要求1所述的训练SEM图像选择方法，其中

7.根据权利要求6所述的训练SEM图像选择方法，其中

8.根据权利要求1所述的训练SEM图像选择方法，其中

9.一种训练扫描电子显微镜SEM图像选择方法，包括：

10.根据权利要求9所述的训练SEM图像选择方法，其中

11.根据权利要求9所述的训练SEM图像选择方法，其中

12.根据权利要求9所述的训练SEM图像选择方法，其中

13.根据权利要求9所述的训练SEM图像选择方法，其中

14.根据权利要求9所述的训练SEM图像选择方法，其中

15.一种扫描电子显微镜SEM设备对准方法，包括：

16.根据权利要求15所述的SEM设备对准方法，其中

17.根据权利要求15所述的SEM设备对准方法，其中

18.根据权利要求15所述的SEM设备对准方法，其中

19.根据权利要求15所述的SEM设备对准方法，其中

20.根据权利要求15所述的SEM设备对准方法，其中，

【技术特征摘要】

1.一种训练扫描电子显微镜sem图像选择方法，包括：

2.根据权利要求1所述的训练sem图像选择方法，其中

3.根据权利要求1所述的训练sem图像选择方法，其中

4.根据权利要求3所述的训练sem图像选择方法，其中

5.根据权利要求1所述的训练sem图像选择方法，其中

6.根据权利要求1所述的训练sem图像选择方法，其中

7.根据权利要求6所述的训练sem图像选择方法，其中

8.根据权利要求1所述的训练sem图像选择方法，其中

9.一种训练扫描电子显微镜sem图像选择方法，包括：

10.根据权利要求9所述的训练sem图像选择方法，其中